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用于激光数字投影显示系统的匀光整形元件设计 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 44-49
作者:  张巍;  梁传样;  李金;  芮大为
caj(3055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/96  |  提交时间：2016/07/06
光学器件  衍射光学元件  光束整形  均匀照明  激光投影显示  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/64  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
基于纳米磁珠放大的高灵敏度纳米光纤生化传感器 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 12, 页码: 41-47
作者:  代方;  李凯伟;  周文超;  张威;  余慕欣;  柳常清;  吴一辉
caj(816Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/95  |  提交时间：2015/04/17
传感器  纳米光纤  纳米磁珠  单纳米粒子检测  生化检测  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：395/71  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
基于多光束干涉的长程轮廓仪 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:  李晶;  巩岩;  廖家胜;  张巍
caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：284/101  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束器  多光束干涉  
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:  廖家胜;  巩岩;  张巍;  李晶;  李春才;  姚长呈;  闵林
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：295/117  |  提交时间：2015/04/17
测量  长程轮廓仪  分束结构  菲涅耳双棱镜  
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38
作者:  张巍;  巩岩
caj(378Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：377/81  |  提交时间：2013/03/11
衍射  衍射光学元件  光束整形  矢量角谱  偏振