Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 | |
张巍 ; 巩岩
| |
| 2011-10-10 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| 期号 | 10页码:33-38 |
| 关键词 | 衍射 衍射光学元件 光束整形 矢量角谱 偏振 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28077 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张巍,巩岩. 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析[J]. 光学学报,2011(10):33-38. |
| APA | 张巍,&巩岩.(2011).投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析.光学学报(10),33-38. |
| MLA | 张巍,et al."投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析".光学学报 .10(2011):33-38. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析（378KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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