Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 深紫外光刻照明系统扩束单元设计 | |
赵阳; 巩岩 ; 张巍
| |
| 2011-11-01 | |
| 发表期刊 | 光学学报
 |
| ISSN | 0253-2239 |
| 卷号 | 31期号:11页码:1122004-1 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3726 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵阳,巩岩,张巍. 深紫外光刻照明系统扩束单元设计[J]. 光学学报,2011,31(11):1122004-1. |
| APA | 赵阳,巩岩,&张巍.(2011).深紫外光刻照明系统扩束单元设计.光学学报,31(11),1122004-1. |
| MLA | 赵阳,et al."深紫外光刻照明系统扩束单元设计".光学学报 31.11(2011):1122004-1. |
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