中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
一种光机系统结构稳定性评估方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 2, 页码: 124-128
作者:  郭本银;  谢耀;  于杰;  王丽萍;  苗亮
caj(1232Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：229/90  |  提交时间：2017/09/17
测量  长期稳定性  敏感矩阵  奇异值分解  
微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/100  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：466/168  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
三反射主动变焦系统设计 期刊论文
物理学报, 2014, 期号: 14, 页码: 164-170
作者:  沈本兰;  常军;  王希;  牛亚军;  冯树龙
caj(843Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：335/96  |  提交时间：2015/04/17
主动变焦  初级像差  三反射镜  光学设计