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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：380/142  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：282/74  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
扫描干涉场曝光光束自动对准及其收敛性分析 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 12, 页码: 176-183
作者:  王玮;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  潘明忠
caj(1764Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/99  |  提交时间：2017/09/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  光束对准  收敛性能  装调误差  
浅面浮雕矩形台面垂直腔面发射半导体激光器 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 12, 页码: 28-33
作者:  李秀山;  宁永强;  贾鹏;  陈泳屹;  张星;  张建伟;  张建;  刘云;  秦莉;  王立军
caj(384Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：442/145  |  提交时间：2015/04/17
激光器  半导体激光器  矩形台面  浅面浮雕