中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
The effect of ultrasonic vibration and surfactant additive on fabrication of 53.5 gr mm silicon echelle grating with low surface roughness in alkaline KOH solution 期刊论文
Ultrasonics Sonochemistry, 2018, 卷号: 40, 页码: 937-943
作者:  Jiao, Q. B.;  Zhu, C. L.;  Tan, X.;  Qi, X. D.;  Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(1078Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：260/86  |  提交时间：2019/09/17
Surface roughness  Silicon echelle grating  Ultrasonic agitation  Surfactant additive  extreme-ultraviolet  si  agitation  alcohol  Acoustics  Chemistry  
A general method of designing phase-shifting algorithms for grating lateral shearing interferometry 期刊论文
Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering, 2018, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 809-814
作者:  Fang, C.;  Xiang, Y.;  Qi, K. Q.
浏览  |  Adobe PDF(421Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/95  |  提交时间：2019/09/17
Interferometry  Phase measurement  Phase-shifting algorithms  point-diffraction interferometer  wave-front reconstruction  hartmann-shack sensor  spatial-resolution  metrology  optics  euva  Computer Science  Engineering  
Two Methods of Amplification of Coherent Extreme Ultraviolet Radiation During Harmonic Generation in Plasmas 期刊论文
Optics and Spectroscopy, 2018, 卷号: 124, 期号: 6, 页码: 855-870
作者:  Ganeev, R. A.
浏览  |  Adobe PDF(1477Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：281/121  |  提交时间：2019/09/17
high-order harmonics  laser-produced plasma  photoabsorption spectrum  resonance enhancement  femtosecond pulses  ionization  ablation  nm  photoionization  antimony  Optics  Spectroscopy  
Robust design of broadband EUV multilayer using multi-objective evolutionary algorithm 期刊论文
Optics Communications, 2018, 卷号: 410, 页码: 805-810
作者:  Kuang, S. Q.;  Gong, X. P.;  Yang, H. G.
浏览  |  Adobe PDF(1788Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：291/105  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Multilayer design  X-ray  Soft X-rays  Extreme ultraviolet  Thin films  x-ray  genetic algorithm  mirrors  fabrication  reflectivity  optimization  coatings  Optics  
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：371/125  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  王依
caj(7582Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：264/0  |  提交时间：2019/09/23
极紫外  X射线  增反膜  碳沉积  等离子体去除  
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
浏览  |  Adobe PDF(2727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：275/110  |  提交时间：2019/09/17
Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Trajectory-fitting and testing error analysis of stage for curved grating etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 588-596
作者:  Shen, Chen;  Tan, Xin;  Zhu, Ji-Wei;  Zhang, Wei;  Qi, Xiang-Dong
浏览  |  Adobe PDF(1093Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：254/121  |  提交时间：2019/09/17
Curve fitting  Diffraction gratings  Errors  Etching  
Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 29, 页码: 8654-8663
作者:  Zhao, L.;  Dong, L. J.;  Yu, X. F.;  Li, P. Z.;  Qiao, Y. F.
浏览  |  Adobe PDF(2985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/106  |  提交时间：2019/09/17
adaptive optics  deformable mirror  performance  simulation  systems  design  Optics  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
浏览  |  Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/106  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure