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模压硫系玻璃元件红外增透膜的研制 期刊论文
光学学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 20, 页码: 238-247
作者:  付秀华;  王海峰;  张静;  张功;  任仲举;  周笑平;  杨飞
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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(3802Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：239/93  |  提交时间：2021/07/06
原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
浏览  |  Adobe PDF(2105Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/41  |  提交时间：2021/07/06
薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男
caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：269/64  |  提交时间：2016/07/06
光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度  
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王君;  金春水;  王丽萍;  郭本银;  喻波
caj(491Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：466/168  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  光学设计  极紫外光刻  等效工作界面  多层膜  能量守恒  
红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222005
作者:  梁中翥;  梁静秋
Adobe PDF(889Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/82  |  提交时间：2012/05/11
微型红外辐射探测芯片的设计及实验研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112009-1
作者:  梁中翥
Adobe PDF(1341Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：400/127  |  提交时间：2012/05/11
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
Adobe PDF(1374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/150  |  提交时间：2012/05/11
室内聚光测试系统的研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 6, 页码: 0622006-1
作者:  刘华;  王尧;  许文斌;  卢振武
Adobe PDF(1193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：480/134  |  提交时间：2012/05/11
ZnS光窗上增透与带通频率选择表面组合膜设计 期刊论文
光学学报, 2010, 卷号: 30, 期号: 9, 页码: 2766-2770
作者:  冯晓国;  赵晶丽;  梁凤超;  王岩松;  陈新;  高劲松
caj(343Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：457/85  |  提交时间：2012/09/25