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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：138/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| 猫眼法绝对测量干涉仪出射波前 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 12, 页码: 201-206
作者: 苏东奇 ; 苗二龙; 曲艺; 隋永新
 caj(3041Kb) | 收藏 | 浏览/下载：351/105 | 提交时间：2016/07/06
测量 光学检测 猫眼 菲索干涉仪 波前 |
| 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 05, 页码: 242-248
作者: 陈新东; 李锐刚
caj(1254Kb) | 收藏 | 浏览/下载：291/90 | 提交时间：2016/07/06
光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
作者: 苏东奇; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
caj(941Kb) | 收藏 | 浏览/下载：220/66 | 提交时间：2016/07/06
光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| Error correction of interferometer detection with high-accuracy rotation method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 1297-1303
作者: Han, D.-S.; X. He; Z.-H. Wei and Y.-M. Li
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| Absolute testing of interferometer wavefront using cat's-eye test 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者: Su, D.; E. Miao; Y. Qu and Y. Sui
浏览 | Adobe PDF(3156Kb) | 收藏 | 浏览/下载：343/100 | 提交时间：2016/08/24 |
| 菲索干涉仪移相器关键技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 毛石磊
Adobe PDF(3933Kb) | 收藏 | 浏览/下载：308/2 | 提交时间：2016/04/11
菲索干涉仪 移相器 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 |
| 基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 李乐
Adobe PDF(3433Kb) | 收藏 | 浏览/下载：322/1 | 提交时间：2015/05/03
非球面检测 补偿镜 迭代 公差分配 折射率均匀性 |
| 光学面形的旋转绝对检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张艳微
Adobe PDF(1884Kb) | 收藏 | 浏览/下载：376/2 | 提交时间：2015/05/03
干涉检测 绝对检测 旋转法绝对检测 误差分析 |
| 基于有限元法的面形反演模型 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78
作者: 刘永明; 谢军; 田伟; 隋永新; 刘震宇
caj(408Kb) | 收藏 | 浏览/下载：329/84 | 提交时间：2015/04/17
绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式 |
