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揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：217/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
超精密摩擦传动机构 期刊论文
机械设计与研究, 2016, 期号: 4, 页码: 64-67
作者:  刘斌;  陈琦;  蔡黎明;  杨洪波;  于涌
caj(671Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：294/96  |  提交时间：2017/09/17
摩擦传动  超精密定位  定位精度  赫兹接触  
Structure design of nanometer positioning stage with a large stroke 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 5
作者:  Chen, Q.
浏览  |  Adobe PDF(791Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/107  |  提交时间：2017/09/11
Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431
作者:  Guo, K.;  M.-Y. Ni;  Z. Sun;  H.-N. Chen and D.-P. Wang
Adobe PDF(2146Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/66  |  提交时间：2016/08/24
压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  吴伊玲
Adobe PDF(2287Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/2  |  提交时间：2016/04/11
压电陶瓷  两维偏摆镜  驱动控制系统  改进非对称pi迟滞模型  前馈pid控制  
基于超精密定位的压电陶瓷驱动及其控制技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  江国栋
Adobe PDF(2026Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/2  |  提交时间：2016/04/11
压电陶瓷  腔衰荡光谱  控制系统  迟滞非线性  Prandtl-ishlinskii 模型  复合控制  
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：245/69  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器  
一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11
发明人:  倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全
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精密气动定位系统的发展及应用 期刊论文
光机电信息, 2011, 卷号: 28, 期号: 8, 页码: 37-44
作者:  袁文全;  巩岩
Adobe PDF(973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/163  |  提交时间：2012/05/11
柔性铰链的设计与CAE分析 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  潘大虎
Microsoft Word(13717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：316/2  |  提交时间：2013/02/28