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| 一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: ZL201110212311.0, 申请日期: 2013-04-17, 公开日期: 2014-03-11 发明人: 倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全 Adobe PDF(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:346/57  |  提交时间:2014/03/11 |
| 一种用于光学测量的积分球装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-04-11, 公开日期: 2012-04-11 发明人: 巩岩; 倪明阳; 赵磊; 张巍; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:464/69  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(465Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:593/81  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:465/56  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:674/71  |  提交时间:2012/08/29 |
| 高精度物镜波纹管致动器的线性分析 期刊论文 光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530 作者: 袁文全; 巩岩; 张巍; 王学亮; 倪明阳; 赵磊 Adobe PDF(544Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:449/133  |  提交时间:2012/05/11 |
| 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文 光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530 作者: 袁文全; 巩岩; 张巍; 王学亮; 倪明阳; 赵磊 caj(445Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:441/118  |  提交时间:2013/03/11 高精度物镜 气动 波纹管 几何非线性 有限单元法 |
| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17 发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全 Adobe PDF(727Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:547/66  |  提交时间:2012/08/29 |
| 一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29 发明人: 袁文全; 巩岩; 张巍; 倪明阳; 王学亮; 赵磊 Adobe PDF(391Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:397/62  |  提交时间:2012/08/29 |
| 光刻物镜恒温水套的小比例模型实验设计 期刊论文 光电工程, 2011, 卷号: 38, 期号: 1, 页码: 60-63 作者: 袁文全; 巩岩; 张巍; 王学亮; 赵磊; 倪明阳 Adobe PDF(1090Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:443/161  |  提交时间:2012/05/11 |