Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 | |
冯佳; 李佩玥 ; 徐立松; 尹志生; 隋永新
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| 2015-05-20 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
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| 期号 | 05页码:85-87+91 |
| 摘要 | 针对调幅式电容位移传感器乘法器检波存在的速度慢、功耗大和热噪声大问题,设计了一种基于模拟开关的全波检波电路。首先,对开关全波检波和开关半波检波原理进行分析,根据分析结果选择了全波检波方法。在此基础上,完成开关全波检波电路设计与测量系统其它部分设计。最后,利用八位半数字表3458A对检波电路与测量系统性能指标进行测试。测试结果表明:检波电路可以实现0.1 m V的分辨率,测量系统在150~650μm范围内分辨率达30 nm,系统示值稳定性0.1 m V/30 min,电容测量系统最大测量偏差为20 nm。该测量系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 |
| 关键词 | 电容位移传感器 调幅 交流激励 检波电路 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/54109 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯佳,李佩玥,徐立松,等. 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计[J]. 传感器与微系统,2015(05):85-87+91. |
| APA | 冯佳,李佩玥,徐立松,尹志生,&隋永新.(2015).调幅式电容位移传感器开关检波电路设计.传感器与微系统(05),85-87+91. |
| MLA | 冯佳,et al."调幅式电容位移传感器开关检波电路设计".传感器与微系统 .05(2015):85-87+91. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计.c（415KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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