|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式： |
| Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者: Kuang, Shang-Qi; Li, Shuo; Yang, Hai-Gui ; Huo, Tong-Lin; Zhou, Hong-Jun
 浏览 |  Adobe PDF(985Kb) |  收藏 | 浏览/下载：354/117 | 提交时间：2019/09/17
Multilayers Extreme ultraviolet lithography Fabrication Mirrors Reflection |
| Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4
作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang
浏览 | Adobe PDF(1342Kb) | 收藏 | 浏览/下载：320/62 | 提交时间：2017/09/11 |
| Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3
作者: Wang, X.; C. Jin; C. Li and S. Kuang
浏览 | Adobe PDF(1950Kb) | 收藏 | 浏览/下载：285/103 | 提交时间：2016/08/24 |
| 远紫外感应式阳极光子计数成像探测器研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 韩素立
 Adobe PDF(3119Kb) | 收藏 | 浏览/下载：379/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 极紫外多层膜光学元件表面污染研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 鹿国庆
Adobe PDF(1786Kb) | 收藏 | 浏览/下载：436/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 氧化锌基激光器件的设计、制备与特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 倪佩楠
Adobe PDF(13527Kb) | 收藏 | 浏览/下载：386/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 氮化铝压电薄膜的反应磁控溅射制备与性能表征 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 毕晓猛
Adobe PDF(6951Kb) | 收藏 | 浏览/下载：735/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| 高功率半导体激光器结构研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 张金胜
Adobe PDF(4482Kb) | 收藏 | 浏览/下载：778/1 | 提交时间：2014/08/21 |
| ZnO薄膜及其光电子器件中的晶格失配与应力问题研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2010
作者: 李永峰
Adobe PDF(3705Kb) | 收藏 | 浏览/下载：282/1 | 提交时间：2013/03/01 |
| TFT阵列金属电极的制备与性能 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 260-267
作者: 王大海; 杨柏梁; 吴渊; 刘传珍; 李牧菊; 李轶华; 张玉; 廖燕平
caj(111Kb) | 收藏 | 浏览/下载：412/68 | 提交时间：2013/03/11
磁控溅射 Tft器件 溅射速率 金属薄膜 |
