Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| TFT阵列金属电极的制备与性能 | |
| 王大海; 杨柏梁; 吴渊; 刘传珍; 李牧菊; 李轶华; 张玉; 廖燕平 | |
| 2000-12-30 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 期号 | 04页码:260-267 |
| 关键词 | 磁控溅射 Tft器件 溅射速率 金属薄膜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30722 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王大海,杨柏梁,吴渊,等. TFT阵列金属电极的制备与性能[J]. 液晶与显示,2000(04):260-267. |
| APA | 王大海.,杨柏梁.,吴渊.,刘传珍.,李牧菊.,...&廖燕平.(2000).TFT阵列金属电极的制备与性能.液晶与显示(04),260-267. |
| MLA | 王大海,et al."TFT阵列金属电极的制备与性能".液晶与显示 .04(2000):260-267. |
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