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多晶硅薄膜晶体管工艺中的反应性离子刻蚀 期刊论文
液晶与显示, 2002, 期号: 01, 页码: 59-64
作者:  王大海;  李轶华;  孙艳;  吴渊;  陈国军;  付国柱;  荆海;  万春明
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多晶硅薄膜晶体管  反应性离子刻蚀  刻蚀速率  选择比  
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 250-254
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  张玉;  李牧菊;  吴渊;  廖燕平;  王大海;  邱法斌;  李轶华;  黄锡珉
caj(114Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：559/82  |  提交时间：2013/03/11
金属诱导晶化  多晶硅薄膜  退火  
TFT阵列金属电极的制备与性能 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 260-267
作者:  王大海;  杨柏梁;  吴渊;  刘传珍;  李牧菊;  李轶华;  张玉;  廖燕平
caj(111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/68  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  Tft器件  溅射速率  金属薄膜