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低温p-Si薄膜的制备研究 期刊论文
世界电子元器件, 2001, 期号: 11, 页码: 11-12
作者:  荆海;  邱法斌;  刘传珍;  付国柱
caj(191Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：447/77  |  提交时间：2013/03/11
薄膜材料:4711  激光能量密度:4246  多晶硅:4023  膜的制备:3777  激光退火:3106  金属诱导:2364  液晶显示技术:2337  硅薄膜:1706  结晶度:1693  中国科学院:1680  
准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备 期刊论文
液晶与显示, 2001, 期号: 03, 页码: 170-175
作者:  邱法斌;  骆文生;  张玉;  刘传珍;  荆海;  黄锡珉
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多晶硅膜  准分子激光烧结  玻璃衬底  制备  
金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 250-254
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  张玉;  李牧菊;  吴渊;  廖燕平;  王大海;  邱法斌;  李轶华;  黄锡珉
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金属诱导晶化  多晶硅薄膜  退火  
TFT阵列金属电极的制备与性能 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 260-267
作者:  王大海;  杨柏梁;  吴渊;  刘传珍;  李牧菊;  李轶华;  张玉;  廖燕平
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磁控溅射  Tft器件  溅射速率  金属薄膜  
激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 46-52
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  李牧菊;  吴渊;  张玉;  李轶华;  邱法斌;  黄锡珉
caj(319Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：391/69  |  提交时间：2013/03/11
P-si薄膜  激光退火  能量密度