Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响 | |
贾树强 ; 黄玮; 庞武斌
| |
| 2015-07-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 07页码:2005-2012 |
| 摘要 | 以45nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响。建立了支撑块-胶层-反射镜的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析。仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25nm。最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化。结果显示:当胶层厚度为200,280,400μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性。 |
| 关键词 | 光机系统 反射镜 三点支撑 表面面形 胶层 有限元模型 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53904 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾树强,黄玮,庞武斌. 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响[J]. 光学精密工程,2015(07):2005-2012. |
| APA | 贾树强,黄玮,&庞武斌.(2015).胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响.光学精密工程(07),2005-2012. |
| MLA | 贾树强,et al."胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响".光学精密工程 .07(2015):2005-2012. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响.ca（866KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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