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| 极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 王依
 caj(7582Kb) |  收藏 | 浏览/下载：270/0 | 提交时间：2019/09/23
极紫外 X射线 增反膜 碳沉积 等离子体去除 |
| 小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 周辉
Adobe PDF(2193Kb) | 收藏 | 浏览/下载：369/5 | 提交时间：2016/04/11
平场凹面光栅光谱仪 小型化 高分辨率 优化设计 机械装调 误差分析 |
| 应用于三维STORM超分辨率成像的轴向纳米定位技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者: 张世超
Adobe PDF(2968Kb) | 收藏 | 浏览/下载：372/3 | 提交时间：2016/04/11
三维 超分辨率成像 荧光显微镜 柱透镜 标定曲线 |
| 基于迭代方法的的高精度非球面补偿镜设计与检测 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 李乐
Adobe PDF(3433Kb) | 收藏 | 浏览/下载：326/1 | 提交时间：2015/05/03
非球面检测 补偿镜 迭代 公差分配 折射率均匀性 |
| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
Adobe PDF(2717Kb) | 收藏 | 浏览/下载：248/2 | 提交时间：2015/05/03
光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 宋莹
Adobe PDF(5623Kb) | 收藏 | 浏览/下载：495/2 | 提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光 扫描干涉场曝光 干涉条纹 移频式 静态相位锁定 动态相位锁定 Aom |
| 深紫外光学薄膜激光辐照特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵灵
Adobe PDF(3284Kb) | 收藏 | 浏览/下载：395/1 | 提交时间：2015/05/03
深紫外 光学薄膜 吸收 激光量热法 |
| 用于非球面检测的计算全息图制作研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 赵龙波
Adobe PDF(3262Kb) | 收藏 | 浏览/下载：390/2 | 提交时间：2015/05/03
计算全息图 非球面检测 激光直写 反应离子刻蚀 衍射光学元件加工 |
| P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 靳京城
Adobe PDF(2780Kb) | 收藏 | 浏览/下载：349/2 | 提交时间：2014/08/21 |
| 超声强化液固传质动力学模型与硅中阶梯光栅湿法刻蚀技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 焦庆斌
Adobe PDF(5377Kb) | 收藏 | 浏览/下载：282/1 | 提交时间：2014/08/21 |
