Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于非球面检测的计算全息图制作研究 | |
| 赵龙波 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 张学军 |
| 2014-11 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位专业 | 机械制造及其自动化 |
| 关键词 | 计算全息图 非球面检测 激光直写 反应离子刻蚀 衍射光学元件加工 |
| 摘要 | 计算全息图（Computer Generated Hologram，CGH）是非球面加工与检测过程中的关 键元件，利用CGH检测非球面的面形误差是一种高精度的独立光学补偿检验方法。CGH 的制作精度直接决定了其出射波前的精度，间接决定了检测面形的精度，高精度的CGH制 作工艺具有重要的研究意义。 CGH的制作通常包含激光直写光刻工艺与反应离子刻蚀工艺两个部分，并随着工艺技 术的发展，其波前精度逐步提高，论文对CGH制作中的若干关键问题进行了深入讨论和研 究。 论文主要包括四个部分: 1. CGH制作误差对波前精度的影响； 2. 激光直写技术与反应离子刻蚀技术； 3. 振幅型CGH的评价标准与制作； 4. 位相型CGH的评价标准与制作。 形成了完整的CGH评价标准，及制作工艺流程，并成功用于多项工程 应用。 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/44722 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵龙波. 用于非球面检测的计算全息图制作研究[D]. 中国科学院大学,2014. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 赵龙波.pdf（3262KB） | 开放获取 | ODC PDDL | 请求全文 | |||
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