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适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 10, 页码: 170-176
作者:  方楚;  郭劲;  徐新行;  姜振华;  王挺峰
caj(432Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：306/81  |  提交时间：2017/09/17
快速反射镜  压电陶瓷  位移放大机构  菱形结构  
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
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狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试  
大口径SiC主镜主动支撑研究及促动器设计 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 7, 页码: 179-183
作者:  李剑锋;  吴小霞;  邵亮
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主动支撑  大口径主镜  力促动器  
大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071
作者:  陈琦
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扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位  
机载刚性支撑式快速控制反射镜设计 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 126-133
作者:  徐新行;  韩旭东;  王兵;  王恒坤;  庄昕宇
caj(1629Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：373/101  |  提交时间：2017/09/17
快速控制反射镜  刚性支撑  差分测量  控制带宽  指向精度  
电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/98  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
Design of rhomboid micro stroke amplifier for FSM system 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 10
作者:  Fang, C.;  J. Guo;  X. Xu;  Z. Jiang and T. Wang
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Compensating controller for hysteresis nonlinerity of piezoelectric ceramics 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Fang, C.;  J. Guo;  X.-X. Xu;  Z.-H. Jiang and T.-F. Wang
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Study on active support for large SiC primary mirror and force actualtor design 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 7
作者:  Li, J.;  X. Wu and L. Shao
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Structure design of a fast adjustment mechanism in the image spin compensation system 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2016, 卷号: 45, 期号: 6
作者:  Yan, Y.-Y.;  W. Liu;  J.-J. Fu and T. Yuan
Adobe PDF(635Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/86  |  提交时间：2017/09/11