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| 机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文 机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40 作者: 张宝庆; 张绍泽; 曹聪; 高劲松 浏览  |  Adobe PDF(1587Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:150/53  |  提交时间:2021/07/06 机刻光栅 复合基底 残余应力 薄膜 压痕 模拟 |
| 揭秘“精密机械之王” 期刊论文 中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62 作者: 唐玉国; 巴音贺希格; 竺长安; 金一 收藏  |  浏览/下载:243/0  |  提交时间:2019/09/17 大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造 |
| Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Mi, X.; H. Yu; H. Yu; X. Qi; X. Li and Q. Wan 浏览  |  Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:351/125  |  提交时间:2018/06/13 |
| Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7 作者: Wang, W.; Bayanheshig; M. Pan; Y. Song and W. Li 浏览  |  Adobe PDF(993Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:285/89  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9 作者: Wang, W.; S. Jiang; Y. Song and Bayanheshig 浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:290/94  |  提交时间:2018/06/13 |
| Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; H. Yu; X. Li; S. Zhang; S. Jiang and L. Yin 浏览  |  Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:328/111  |  提交时间:2017/09/11 |
| Detection and calculation of mosaic grating error based on wavefront method 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 5 作者: Lu, Y.; X. Qi; X. Mi; S. Jiang; H. Yu; X. Li and L. Yin 浏览  |  Adobe PDF(590Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:316/83  |  提交时间:2017/09/11 |
| Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12 作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan 浏览  |  Adobe PDF(1920Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:470/86  |  提交时间:2017/09/11 |
| 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 01, 页码: 239-246 作者: 杨超; 于海利; 张善文; 于宏柱; 李晓天; 唐玉国 caj(1321Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:353/126  |  提交时间:2016/07/06 光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 |
| Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1 作者: Yang, C.; H. Yu; S. Zhang; H. Yu; X. Li and Y. Tang 浏览  |  Adobe PDF(1479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:377/116  |  提交时间:2016/08/24 |