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扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 166-175
作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格
caj(4189Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/162  |  提交时间：2018/04/09
光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
浏览  |  Adobe PDF(3436Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：360/133  |  提交时间：2018/06/13
Design of Spot Size and Optical Path in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Wang, W.;  S. Jiang;  Y. Song and Bayanheshig
浏览  |  Adobe PDF(4373Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/101  |  提交时间：2018/06/13
罗兰光栅在光谱仪中对接收能量的影响分析 期刊论文
光学技术, 2016, 期号: 5, 页码: 445-449
作者:  周辉;  张善文;  崔继承;  王玮;  赵旭龙;  李晓天
caj(706Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/156  |  提交时间：2017/09/17
罗兰光栅  刻线误差  曲率半径误差  定位误差  
Study on the Effects and Compensation Effect of Recording Parameters Error on Imaging Performance of Holographic Grating in On-Line Spectral Diagnose 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 3
作者:  Jiang, Y. X.;  Bayanheshig;  S. Yang;  X. L. Zhao;  N. Wu and W. H. Li
浏览  |  Adobe PDF(524Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：290/80  |  提交时间：2017/09/11
Active control technology to correct the quality of the grating wave-front 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 1
作者:  Yang, C.;  H. Yu;  S. Zhang;  H. Yu;  X. Li and Y. Tang
浏览  |  Adobe PDF(1479Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/127  |  提交时间：2016/08/24
Design and analysis of diamond carrier aerostatic guideway in large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 4
作者:  Song, N.;  S. Feng;  H. Yu;  X. Qi;  Bayanheshig and Y. Tang
浏览  |  Adobe PDF(1451Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：358/89  |  提交时间：2016/08/24
Design of the controller of the micro-positioning system for large diffraction grating ruling engine 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 473-480
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  J. Gao;  H. Yu;  S. Zhang and X. Qi
浏览  |  Adobe PDF(672Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/111  |  提交时间：2016/08/24
扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62
作者:  姜珊;  巴音贺希格;  李文昊;  宋莹;  潘明忠
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/109  |  提交时间：2015/04/17
光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差  
光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 期刊论文
湖南大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 3, 页码: 43-48
作者:  申远;  王俊杰;  竺长安;  齐向东
caj(926Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/151  |  提交时间：2015/04/17
光栅刻划机  光机电集成优化  计算傅里叶光学  智能优化