Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究 | |
| 申远; 王俊杰; 竺长安; 齐向东 | |
| 2014-03-25 | |
| 发表期刊 | 湖南大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 3页码:43-48 |
| 摘要 | 针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能优化方法对刻划系统进行结构参数优化.虚拟样机仿真结果表明,刻划系统的振动幅度降低了30%,验证了该集成优化方法的有效性. |
| 关键词 | 光栅刻划机 光机电集成优化 计算傅里叶光学 智能优化 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43217 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申远,王俊杰,竺长安,等. 光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究[J]. 湖南大学学报(自然科学版),2014(3):43-48. |
| APA | 申远,王俊杰,竺长安,&齐向东.(2014).光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究.湖南大学学报(自然科学版)(3),43-48. |
| MLA | 申远,et al."光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究".湖南大学学报(自然科学版) .3(2014):43-48. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究（926KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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