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| 用于激光数字投影显示系统的匀光整形元件设计 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 44-49 作者: 张巍; 梁传样; 李金; 芮大为 caj(3055Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:282/96  |  提交时间:2016/07/06 光学器件 衍射光学元件 光束整形 均匀照明 激光投影显示 |
| 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文 光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353 作者: 尚红波; 刘春来; 张巍; 陈华男 caj(1604Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:311/69  |  提交时间:2016/07/06 光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 |
| 基于纳米磁珠放大的高灵敏度纳米光纤生化传感器 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 12, 页码: 41-47 作者: 代方; 李凯伟; 周文超; 张威; 余慕欣; 柳常清; 吴一辉 caj(816Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:453/101  |  提交时间:2015/04/17 传感器 纳米光纤 纳米磁珠 单纳米粒子检测 生化检测 |
| 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142 作者: 陈华; 苏东奇; 隋永新; 章明朝; 田伟; 杨怀江; 张巍 caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:437/78  |  提交时间:2015/04/17 成像系统 热像差 主动补偿 光刻机 投影物镜 |
| 基于多光束干涉的长程轮廓仪 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265 作者: 李晶; 巩岩; 廖家胜; 张巍 caj(530Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:326/116  |  提交时间:2015/04/17 测量 长程轮廓仪 分束器 多光束干涉 |
| 长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212 作者: 廖家胜; 巩岩; 张巍; 李晶; 李春才; 姚长呈; 闵林 caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:311/130  |  提交时间:2015/04/17 测量 长程轮廓仪 分束结构 菲涅耳双棱镜 |
| 深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文 光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1 作者: 赵阳; 巩岩; 张巍 Adobe PDF(1374Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:469/169  |  提交时间:2012/05/11 |
| 投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析 期刊论文 光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38 作者: 张巍; 巩岩 caj(378Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:402/89  |  提交时间:2013/03/11 衍射 衍射光学元件 光束整形 矢量角谱 偏振 |