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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
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光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Opto-mechanical structure design of visible light rough tracking and imaging lens 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2017, 卷号: 38, 期号: 5
作者: Wang, H.; S. Dai; L. Fan and Y. Zhao
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| 基于子孔径扫描的大口径光学系统波前检测技术研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 张昊
收藏 | 浏览/下载：240/0 | 提交时间：2017/09/17
测量 哈特曼原理 波前重构 斜率检测 误差分析 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀 ; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
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成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| Wavefront reconstruction based on discrete sampling of sub-aperture slope 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者: He, X. and L. Yuan
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| Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者: Xie, Y.; L.-P. Wang; B.-Y. Guo; J. Wang; L. Miao; H. Wang and F. Zhou
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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| Integrated optomechanical analysis and experiments for influence of gravity on wavefront aberration of space camera 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 8
作者: Dong, D.-Y.; Z.-L. Li; D.-L. Xue; C.-Z. Chen and X.-J. Zhang
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| 成像光学系统的相对波像差梯度偏离值评价法 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 12, 页码: 3329-3334
作者: 宣斌
caj(360Kb) | 收藏 | 浏览/下载：287/97 | 提交时间：2016/07/06
光学检测 成像光学系统 波像差评价 波像差梯度 相对梯度偏离值 |
| 波像差的梯度偏离值评价方法（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75
作者: 宋淑梅
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光学工程 光学检测 波像差检测 波像差梯度 |
