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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
 caj(6271Kb) |  收藏 | 浏览/下载：171/0 | 提交时间：2020/08/24
光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Opto-mechanical structure design of visible light rough tracking and imaging lens 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2017, 卷号: 38, 期号: 5
作者: Wang, H.; S. Dai; L. Fan and Y. Zhao
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| 基于子孔径扫描的大口径光学系统波前检测技术研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者: 张昊
收藏 | 浏览/下载：240/0 | 提交时间：2017/09/17
测量 哈特曼原理 波前重构 斜率检测 误差分析 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀 ; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽
caj(532Kb) | 收藏 | 浏览/下载：310/106 | 提交时间：2017/09/17
成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| Wavefront reconstruction based on discrete sampling of sub-aperture slope 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者: He, X. and L. Yuan
 浏览 |  Adobe PDF(1815Kb) | 收藏 | 浏览/下载：275/97 | 提交时间：2017/09/11 |
| Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者: Xie, Y.; L.-P. Wang; B.-Y. Guo; J. Wang; L. Miao; H. Wang and F. Zhou
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| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6
作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo
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| Integrated optomechanical analysis and experiments for influence of gravity on wavefront aberration of space camera 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 8
作者: Dong, D.-Y.; Z.-L. Li; D.-L. Xue; C.-Z. Chen and X.-J. Zhang
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| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 代晓珂
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光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 王钰
Adobe PDF(3417Kb) | 收藏 | 浏览/下载：273/3 | 提交时间：2015/05/03
自由曲面 计算机辅助装调 矢量波像差理论 人工神经网络 |
