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电容传感器线性度标定平台 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗
caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：370/139  |  提交时间：2017/09/17
电容传感器  线性度标定  标定平台  柔度矩阵  
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/145  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
基于反馈的交流激励式电容测量电路设计 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 11, 页码: 38-42
作者:  冯佳;  李佩玥;  徐立松;  尹志生;  隋永新
caj(1259Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：520/166  |  提交时间：2015/04/17
电容传感器  交流激励式  反馈电路  3458a  
压电陶瓷定位系统电容传感器容错控制 期刊论文
现代电子技术, 2014, 期号: 21, 页码: 152-155
作者:  郭嘉亮;  李朋志;  李佩玥
caj(1664Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：493/177  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  电容传感器  扩展卡尔曼滤波(Ekf)  容错控制  
极微小电容的检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  冯佳
Adobe PDF(1873Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：463/2  |  提交时间：2015/05/03
电容传感器  电容检测  交流激励式  电容桥  开关检波  
单极板微位移电容传感器结构设计与优化 期刊论文
传感器与微系统, 2014, 期号: 7, 页码: 63-66
作者:  冯佳;  李佩玥;  尹志生;  隋永新;  杨怀江
caj(372Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：411/120  |  提交时间：2015/04/17
电容传感器  电磁仿真  参数化建模  优化设计  Cst