Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 单极板微位移电容传感器结构设计与优化 | |
冯佳; 李佩玥 ; 尹志生; 隋永新; 杨怀江
| |
| 2014 | |
| 发表期刊 | 传感器与微系统
 |
| 期号 | 7页码:63-66 |
| 摘要 | 根据单极板微位移电容传感器结构优化设计的问题,提出了一种基于纵横推进法的电磁场仿真参数化建模方法。在建立合理的单极板电容传感器电磁仿真参数模型基础上,首先通过仿真实验选择保护环和绝缘层缺口的最优值。然后依据仿真得到的最优值,选择结构与最优值接近的电容传感器产品对比,取得了较好的研究结果,电容仿真值与实际测量值误差小于0.3%。最后对电容传感器极板倾斜对测量结果的影响进行了研究,极板倾斜2°时测量误差为1.6%。电容传感器结构优化结果满足实际工程要求。 |
| 关键词 | 电容传感器 电磁仿真 参数化建模 优化设计 Cst |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43301 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯佳,李佩玥,尹志生,等. 单极板微位移电容传感器结构设计与优化[J]. 传感器与微系统,2014(7):63-66. |
| APA | 冯佳,李佩玥,尹志生,隋永新,&杨怀江.(2014).单极板微位移电容传感器结构设计与优化.传感器与微系统(7),63-66. |
| MLA | 冯佳,et al."单极板微位移电容传感器结构设计与优化".传感器与微系统 .7(2014):63-66. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 单极板微位移电容传感器结构设计与优化.c（372KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |||
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