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| 支撑刚度对激光干涉测量噪声的影响研究 期刊论文
江苏科技信息, 2017, 页码: 35-37
作者: 缑旭; 张永凯 ; 彭石军; 田伟
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刚度 位移测量 噪声 激光干涉 移相器 |
| 单轴柔性换向机构刚度分析 期刊论文
机械设计与制造, 2017, 页码: 250-253
作者: 毛石磊; 田伟; 郭抗; 杨洪波
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柔性铰链 柔度矩阵 有限元 刚度分析 |
| 长曲率半径测量系统精度设计及分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 153-158
作者: 魏凤龙; 田伟; 彭石军
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测量 长曲率半径 精度设计 误差分配 不确定度合成 |
| 数字微镜器件热设计计算与试验验证 期刊论文
光电工程, 2016, 期号: 9, 页码: 84-88
作者: 王飞; 周连生; 方斌; 田伟; 张巍; 隋永新
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热力工程 数字微镜器件 数字光处理 热设计 |
| 高面形精度标准镜自重变形的补偿技术 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者: 朱岩; 田伟; 方斌; 武东城
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自重变形 补偿 胶粘 参考面面形 仿真优化 |
| Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者: 方斌; 田伟; 王汝冬; 朱岩; 张永凯; 王飞
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光学设计 光学检测 平面标准镜 有限元法 参考面面形 |
| 交叉滚柱导轨运动台模态研究 期刊论文
机械与电子, 2015, 期号: 08, 页码: 30-32
作者: 张永凯; 田伟; 王汝冬; 方斌
caj(201Kb) | 收藏 | 浏览/下载：265/112 | 提交时间：2016/07/06
交叉滚柱导轨 运动台 模态分析 实验验证 |
| 基于重力补偿的立式三平板绝对检测（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-99
作者: 苏东奇; 田伟; 苗二龙; 隋永新; 杨怀江
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光学检测 绝对检测 干涉术 重力变形 有限元方法 计算仿真 |
| 基于有限元法的面形反演模型 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 8, 页码: 73-78
作者: 刘永明; 谢军; 田伟; 隋永新; 刘震宇
caj(408Kb) | 收藏 | 浏览/下载：510/118 | 提交时间：2015/04/17
绝对检测 旋转平均法 反演模型 干涉检测 Zernike多项式 |
| 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者: 陈华; 苏东奇; 隋永新; 章明朝; 田伟; 杨怀江; 张巍
caj(263Kb) | 收藏 | 浏览/下载：518/114 | 提交时间：2015/04/17
成像系统 热像差 主动补偿 光刻机 投影物镜 |
