Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 长曲率半径测量系统精度设计及分析 | |
魏凤龙; 田伟 ; 彭石军
| |
| 2017 | |
| 发表期刊 | 激光与光电子学进展
 |
| 页码 | 153-158 |
| 摘要 | 根据高精密光学系统的需求,结合目前的研究成果,基于干涉测量法研制了长曲率半径测量系统。分析了影响长曲率半径测量系统测量精度的多种误差因素,根据误差理论和系统组成建立了长曲率半径测量系统误差分配的数学模型和误差分配树。结合系统的整体使用需求,对系统测量精度的目标不确定度进行了分配和合成。结果表明,根据分配结果得到的标准不确定度为2.49μm,小于系统要求的目标不确定度2.5μm。以此分配结果作为各子系统结构设计的输入指标,总结并提出了提高曲率半径测量精度的措施,根据误差分配结果设计了符合使用需求的长曲率半径测量系统。 |
| 关键词 | 测量 长曲率半径 精度设计 误差分配 不确定度合成 |
| DOI | 25A0AF138B75632D95753E08FBA9FDA4 |
| 语种 | 中文 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/58604 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 魏凤龙,田伟,彭石军. 长曲率半径测量系统精度设计及分析[J]. 激光与光电子学进展,2017:153-158. |
| APA | 魏凤龙,田伟,&彭石军.(2017).长曲率半径测量系统精度设计及分析.激光与光电子学进展,153-158. |
| MLA | 魏凤龙,et al."长曲率半径测量系统精度设计及分析".激光与光电子学进展 (2017):153-158. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 长曲率半径测量系统精度设计及分析.caj（483KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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