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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 6, 页码: 649-655
作者:  才玺坤;  张立超;  时光;  贺健康;  武潇野;  梅林
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：414/161  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  应力  光学特性  膜厚均匀性  
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:  贺健康;  张立超;  才玺坤;  时光;  武潇野;  梅林
caj(320Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：364/107  |  提交时间：2017/09/17
离子束溅射  光学薄膜  沉积速率  二维拟合  膜厚均匀性  
深紫外光刻光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 169-181
作者:  张立超;  才玺坤;  时光
caj(474Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/164  |  提交时间：2016/07/06
深紫外光刻  超精密光学  膜系设计  光学性能保障  环境适应性  
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 808-815
作者:  才玺坤;  张立超;  梅林;  时光
caj(414Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/87  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  Laf3  热蒸发  离子束溅射  应力  减反膜  
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 8, 页码: 186-193
作者:  赵灵;  武潇野;  谷勇强;  时光;  梅林;  才玺坤;  张立超
caj(543Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：362/151  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  薄膜材料  193nm激光器  激光量热法  吸收系数