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| 自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 04, 页码: 787-794
作者: 赵晨行; 卢启鹏 ; 宋源; 龚学鹏; 王依; 徐彬豪
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面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 |
| 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者: 陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
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同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计 |
| 极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者: 宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦
caj(411Kb) | 收藏 | 浏览/下载：444/141 | 提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 |
| 基于双直角分束器的反射式静态傅里叶光谱仪光学系统 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 184-190
作者: 李晚侠; 卢启鹏; 宋源; 于新洋
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测量 静态傅里叶光谱仪 双直角分束器 光谱分辨率 结构紧凑 |
| 极高分辨变包含角平面光栅单色器关键技术及检测方法研究 期刊论文
中国光学, 2016, 期号: 2, 页码: 284-297
作者: 卢启鹏; 宋源; 龚学鹏; 马磊
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极高分辨 变包含角 软x射线 同步辐射 平面光栅单色器 |
| 前置平面镜热负载对变包含角平面光栅单色器分辨率的影响 期刊论文
中国光学, 2014, 期号: 1, 页码: 105-111
作者: 宋源; 卢启鹏; 彭忠琦; 龚学鹏
caj(601Kb) | 收藏 | 浏览/下载：492/128 | 提交时间：2015/04/17
变包含角平面光栅单色器 热负载 聚焦常数 分辨率 斜率误差 |
| 变包含角平面光栅单色器的光谱分辨率影响因素及相关检测技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者: 宋源
 Adobe PDF(2262Kb) | 收藏 | 浏览/下载：480/2 | 提交时间：2014/03/15
同步辐射 变包含角平面光栅 单色器 分辨率 聚焦常数 热分析 机械精度检测 |
