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菲涅尔衍射及有限时域差分在光栅仿真中的应用研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2022, 卷号: 45, 期号: 03, 页码: 1-5
作者:  宫鹏;  徐桂成;  张斯特;  刘震宇
浏览  |  Adobe PDF(1181Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：161/52  |  提交时间：2023/05/18
二维光栅位移测量技术综述 期刊论文
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 06, 页码: 1224-1238
作者:  尹云飞;  刘兆武;  吉日嘎兰图;  于宏柱;  王玮;  李晓天;  鲍赫;  李文昊;  郝群
浏览  |  Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/115  |  提交时间：2021/07/06
二维光栅  光栅干涉技术  精密位移测量  
Overview of 2D grating displacement measurement technology 期刊论文
Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1224-1238
作者:  Y.-F. Yin,Z.-W. Liu,J. Jirigalantu,H.-Z. Yu,W. Wang,X.-T. Li,H. Bao,W.-H. Li and Q. Hao
浏览  |  Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：91/26  |  提交时间：2021/07/06
空间望远镜用高精度高刚度并联调整平台设计与测试研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  韩哈斯敖其尔
caj(9283Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2020/08/24
6-P-RR-R-RR运动链  偏置RR-铰链  运动学  刚度  重复性  
揭秘“精密机械之王” 期刊论文
中国基础科学, 2018, 期号: 02, 页码: 48-52+62
作者:  唐玉国;  巴音贺希格;  竺长安;  金一
收藏  |  浏览/下载：242/0  |  提交时间：2019/09/17
大面积光栅  刻划光栅  光栅刻划机  超精密制造  
Installation error control of dynamic measurement for small photoelectric encoder 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 7
作者:  Zhang, H.-B.;  Q.-H. Wan;  S.-J. Wang;  H. Yu and L.-H. Liang
浏览  |  Adobe PDF(425Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：325/93  |  提交时间：2017/09/11
小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  周辉
Adobe PDF(2193Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：378/5  |  提交时间：2016/04/11
平场凹面光栅光谱仪  小型化  高分辨率  优化设计  机械装调  误差分析  
痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者:  王军
caj(380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：209/96  |  提交时间：2016/07/06
截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅  
全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：503/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
宽波段平面光栅效率测试仪设计及测量误差补偿方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  曹海霞
Adobe PDF(3973Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：350/2  |  提交时间：2014/08/21