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| 解调电路相位自动对齐系统设计与实现 期刊论文 现代电子技术, 2023, 卷号: 46, 期号: 09, 页码: 163-167 作者: 薛科; 于涛; 汪龙祺; 隋延林; 陈泳锟; 陈禹竺; 刘鑫 浏览  |  Adobe PDF(1754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:19/7  |  提交时间:2024/08/16 |
| 应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试 期刊论文 中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353 作者: 李华东; 齐克奇; 石强; 王少鑫; 王智 浏览  |  Adobe PDF(3006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:435/79  |  提交时间:2021/07/06 精密驱动 尺蠖运动 压电驱动器 驱动力 位移分辨率 |
| Performance test of piezoelectric actuators for space inertial sensors 期刊论文 Chinese Optics, 2020, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 344-353 作者: H.-D. Li,K.-Q. Qi,Q. Shi,S.-X. Wang and Z. Wang 浏览  |  Adobe PDF(3006Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:192/99  |  提交时间:2021/07/06 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 李朋志 caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:257/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 压电促动器 迟滞 模糊 运动控制 像差补偿 |
| 铝合金反射镜面形精度与表面质量提升关键技术研究 学位论文 博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者: 李兴昶 caj(8286Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:269/0  |  提交时间:2019/09/23 单点金刚石车削 铝合金反射镜 电容位移传感器 原位检测 补偿切削 非牛顿流体磨盘 机械化学抛光 平滑效应 中高频误差抑制 |
| 电容传感器线性度标定平台 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1, 页码: 143-151 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗 caj(1959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:328/118  |  提交时间:2017/09/17 电容传感器 线性度标定 标定平台 柔度矩阵 |
| Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1 作者: Zhang, D.-F.; C. Ge; X.-L. Li; M.-Y. Ni and K. Guo 浏览  |  Adobe PDF(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:372/146  |  提交时间:2017/09/11 |
| 调幅式电容位移传感器开关检波电路设计 期刊论文 传感器与微系统, 2015, 期号: 05, 页码: 85-87+91 作者: 冯佳; 李佩玥; 徐立松; 尹志生; 隋永新 caj(415Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:574/133  |  提交时间:2016/07/06 电容位移传感器 调幅 交流激励 检波电路 |
| 高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文 仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988 作者: 张德福; 葛川; 李显凌; 倪明阳; 郭抗; 李朋志 caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/121  |  提交时间:2016/07/06 传感器 标定 线性度 柔度矩阵 |
| Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988 作者: Zhang, D.; C. Ge; X. Li; M. Ni; K. Guo and P. Li 浏览  |  Adobe PDF(823Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:321/128  |  提交时间:2016/08/24 |