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大量程高性能光栅位移测量技术 期刊论文
计测技术, 2023, 卷号: 43, 期号: 01, 页码: 81-90
作者:  刘林;  刘兆武;  于宏柱;  王玮;  姜岩秀;  姜珊;  孙宇佳;  金思宇;  梁旭;  巴音贺希格;  李文昊
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Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
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激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文
中国激光, 2016, 页码: 231-236
作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊;  李晓天;  吕强
caj(310Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：333/89  |  提交时间：2018/04/09
测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪  
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 9
作者:  Liu, Z.-W.;  W.-H. Li;  J.-K. Wang;  S. Jiang;  Y. Song;  M.-Z. Pan and Bayanheshig
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全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
Adobe PDF(5623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：528/2  |  提交时间：2015/05/03
全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom