中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
浏览  |  Adobe PDF(4130Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/111  |  提交时间：2018/06/13
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
caj(585Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/105  |  提交时间：2017/09/17
柔顺并联机构  光学元件微动调整  位姿正解  伪刚体模型  矢量代数法  雅克比矩阵  
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Xu, M.-F.;  W.-B. Pang;  X.-R. Xu;  X.-H. Wang and W. Huang
浏览  |  Adobe PDF(487Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：317/83  |  提交时间：2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:  Zhang, D.-F.;  C. Ge;  X.-L. Li;  M.-Y. Ni and K. Guo
浏览  |  Adobe PDF(2131Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：324/108  |  提交时间：2017/09/11
Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:  Zhao, L.;  C. Liang;  D.-F. Zhang;  L.-J. Dong and H.-F. Peng
浏览  |  Adobe PDF(762Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/74  |  提交时间：2017/09/11
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/126  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差