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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:
Dong, L.
;
Q. Cui
;
P. Li and L. Zhao
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提交时间:2018/06/13
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:
赵磊
;
梁超
;
张德福
;
东立剑
;
彭海峰
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提交时间:2017/09/17
柔顺并联机构
光学元件微动调整
位姿正解
伪刚体模型
矢量代数法
雅克比矩阵
Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:
Xu, M.-F.
;
W.-B. Pang
;
X.-R. Xu
;
X.-H. Wang and W. Huang
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提交时间:2017/09/11
Linearity calibration platform of capacitive sensors
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1
作者:
Zhang, D.-F.
;
C. Ge
;
X.-L. Li
;
M.-Y. Ni and K. Guo
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提交时间:2017/09/11
Forward kinematics of 3-RRR flexure parallel mechanism used in lens micro-adjustment
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 6
作者:
Zhao, L.
;
C. Liang
;
D.-F. Zhang
;
L.-J. Dong and H.-F. Peng
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提交时间:2017/09/11
光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构
期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:
赵磊
;
巩岩
;
赵阳
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提交时间:2014/03/07
光刻物镜
柔性铰链
微动调整机构
系统波像差