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| 极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文 中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水 ; 王春忠
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:255/0  |  提交时间:2017/09/17 薄膜 极紫外光刻 宽带多层膜 Mo/si多层膜 |
| 基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者: 王辉 ; 周烽 ; 喻波 ; 谢耀 ; 于杰 ; 刘钰 ; 王丽萍![](/image/person.jpg)
caj(1280Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:365/133  |  提交时间:2016/07/06 测量 光刻技术 有限元分析 高复现性支撑装置 薄膜均匀性测量 |
| 折反射式大入瞳星敏感器光学系统设计 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 276-283 作者: 吕博; 刘伟奇; 张大亮 ; 姜珊; 康玉思 ; 冯睿![](/image/person.jpg)
caj(655Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:417/117  |  提交时间:2015/04/17 光学设计 折反射 星敏感器 遮光罩 杂光分析 |
| 手持式拉曼光谱仪探头系统的杂光抑制新方法 期刊论文 中国激光, 2014, 期号: 1, 页码: 219-226 作者: 刘兵; 于凡菊; 孙强 ; 刘英 ; 安岩; 姜承志; 呼新荣
caj(317Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:469/178  |  提交时间:2015/04/17 光谱学 手持拉曼光谱仪 光学探头 弱信号探测 杂散光 黑点板 |
| 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文 中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水![](/image/person.jpg)
caj(458Kb)  |   收藏  |  浏览/下载:568/150  |  提交时间:2013/03/11 薄膜 Mo/si多层膜 扩散系数 掠入射x射线反射谱 四层模型 极紫外 |
| 基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文 中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11 作者: 喻波 ; 李春 ; 金春水![](/image/person.jpg)
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| 超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法 期刊论文 中国激光, 2011 作者: 金春水 ; 邓文渊 ; 喻波![](/image/person.jpg)
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