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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：280/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析  
电容式位移传感器的线性度标定与不确定度评定 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2546-2552
作者:  葛川;  张德福;  李朋志;  郭抗;  李佩玥;  杨怀江
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/108  |  提交时间：2016/07/06
电容传感器  位移传感器  标定  线性度  不确定度  光刻投影物镜  
高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148
作者:  徐明飞;  黄玮
caj(278Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：235/66  |  提交时间：2016/07/06
投影物镜  光刻物镜  波像差  光学设计  自动优化  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
caj(621Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：448/182  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
大时间热响应常数投影物镜的超高精度温度控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 01, 页码: 108-114
作者:  秦硕;  巩岩;  袁文全;  杨怀江
caj(2080Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：437/89  |  提交时间：2014/03/07
投影物镜  温度控制  串级控制  大时滞  模型预测  前馈补偿