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光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文
光学学报, 2017, 页码: 302-310
作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊
caj(3959Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/88  |  提交时间：2018/04/09
光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数  
利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 228-233
作者:  赵阳;  王平;  赵磊;  刘春来;  华洋洋;  门树东
caj(356Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/112  |  提交时间：2015/04/17
几何光学  复杂系统装调  补偿量选择  奇异值分解  失调量向量  补偿量相关性  
光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:  赵磊;  巩岩
caj(1523Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/130  |  提交时间：2013/03/11
光学器件  光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
宽谱高分辨平场凹面全息光栅光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 04, 页码: 83-87
作者:  武建芬;  赵雷;  陈永彦;  周超;  王泰升;  王宇
caj(433Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：626/192  |  提交时间：2013/03/11
光谱学  平场全息光栅  高分辨  宽光谱