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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [8]
作者
文献类型
期刊论文 [8]
发表日期
2015 [2]
2014 [4]
2011 [2]
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中文 [4]
出处
光学学报 [8]
资助项目
收录类别
EI [1]
资助机构
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出处:光学学报
文献类型:期刊论文
专题:中科院长春光机所知识产出
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用于激光数字投影显示系统的匀光整形元件设计
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 44-49
作者:
张巍
;
梁传样
;
李金
;
芮大为
caj(3055Kb)
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浏览/下载:299/105
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提交时间:2016/07/06
光学器件
衍射光学元件
光束整形
均匀照明
激光投影显示
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353
作者:
尚红波
;
刘春来
;
张巍
;
陈华男
caj(1604Kb)
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浏览/下载:324/74
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提交时间:2016/07/06
光学制造
投影光刻物镜
膜系
偏振像差
对比度
基于纳米磁珠放大的高灵敏度纳米光纤生化传感器
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 12, 页码: 41-47
作者:
代方
;
李凯伟
;
周文超
;
张威
;
余慕欣
;
柳常清
;
吴一辉
caj(816Kb)
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浏览/下载:466/104
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提交时间:2015/04/17
传感器
纳米光纤
纳米磁珠
单纳米粒子检测
生化检测
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:
陈华
;
苏东奇
;
隋永新
;
章明朝
;
田伟
;
杨怀江
;
张巍
caj(263Kb)
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浏览/下载:454/84
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提交时间:2015/04/17
成像系统
热像差
主动补偿
光刻机
投影物镜
基于多光束干涉的长程轮廓仪
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 259-265
作者:
李晶
;
巩岩
;
廖家胜
;
张巍
caj(530Kb)
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浏览/下载:337/120
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提交时间:2015/04/17
测量
长程轮廓仪
分束器
多光束干涉
长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 1, 页码: 207-212
作者:
廖家胜
;
巩岩
;
张巍
;
李晶
;
李春才
;
姚长呈
;
闵林
caj(310Kb)
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浏览/下载:320/136
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提交时间:2015/04/17
测量
长程轮廓仪
分束结构
菲涅耳双棱镜
深紫外光刻照明系统扩束单元设计
期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:
赵阳
;
巩岩
;
张巍
Adobe PDF(1374Kb)
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浏览/下载:490/178
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提交时间:2012/05/11
投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析
期刊论文
光学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 33-38
作者:
张巍
;
巩岩
caj(378Kb)
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浏览/下载:410/91
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提交时间:2013/03/11
衍射
衍射光学元件
光束整形
矢量角谱
偏振