×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [5]
作者
文献类型
期刊论文 [6]
发表日期
2023 [1]
2016 [1]
2015 [1]
2011 [3]
语种
中文 [1]
出处
中国激光 [6]
资助项目
收录类别
EI [2]
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
帮助
限定条件
出处:中国激光
文献类型:期刊论文
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
发表日期升序
发表日期降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
提交时间升序
提交时间降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
全固态单纵模273 nm深紫外激光器研制
期刊论文
中国激光, 2023, 卷号: 50, 期号: 23, 页码: 64-70
作者:
窦微
;
侯珊珊
;
郑志远
;
于博威
;
陈曦
;
郑权
浏览
  |  
Adobe PDF(1555Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:7/2
  |  
提交时间:2024/08/16
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备
期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
;
王春忠
收藏
  |  
浏览/下载:257/0
  |  
提交时间:2017/09/17
薄膜
极紫外光刻
宽带多层膜
Mo/si多层膜
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量
期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:
王辉
;
周烽
;
喻波
;
谢耀
;
于杰
;
刘钰
;
王丽萍
caj(1280Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:371/133
  |  
提交时间:2016/07/06
测量
光刻技术
有限元分析
高复现性支撑装置
薄膜均匀性测量
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
caj(458Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:581/156
  |  
提交时间:2013/03/11
薄膜
Mo/si多层膜
扩散系数
掠入射x射线反射谱
四层模型
极紫外
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量
期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:
喻波
;
李春
;
金春水
Adobe PDF(568Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:483/138
  |  
提交时间:2012/05/11
超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法
期刊论文
中国激光, 2011
作者:
金春水
;
邓文渊
;
喻波
Adobe PDF(907Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:621/238
  |  
提交时间:2012/05/11