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| 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文 中国光学, 2017, 页码: 790-797 作者: 董世则; 郭抗; 李显凌; 陈华男; 张德福 caj(1307Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:424/131  |  提交时间:2018/04/09 光刻物镜 调节机构 狭缝柔性结构 刚度比 导向精度 |
| Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7 作者: Qi, K.-Q.; Y. Xiang; Y.-L. Ding; C. Fang and Z.-P. Zhou 浏览  |  Adobe PDF(644Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:352/107  |  提交时间:2018/06/13 |
| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo 浏览  |  Adobe PDF(4471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:324/83  |  提交时间:2017/09/11 |
| 一种低耦合位移动镜支撑机构静动态性能分析 期刊论文 红外与激光工程, 2013, 期号: 04, 页码: 975-981 作者: 肖前进; 贾宏光; 韩雪峰; 席睿 caj(1830Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:418/112  |  提交时间:2014/03/07 Ftir光谱仪 动镜支撑机构 柔性铰链 Pzt驱动器 |
| 高精度无导轨位移平台误差分析 期刊论文 光学精密工程, 2012, 期号: 02, 页码: 313-320 作者: 曹佃生; 高云国 caj(846Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:468/99  |  提交时间:2013/03/11 位移平台 直线度 耦合位移 柔性四杆机构 变形板 |
| 新型全柔性动镜机构的设计与分析 期刊论文 红外与激光工程, 2012, 期号: 01, 页码: 184-189 作者: 柳华; 刘伟奇; 冯睿; 魏忠伦; 张健 caj(723Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:574/157  |  提交时间:2013/03/11 红外傅里叶变换光谱仪 动镜支撑机构 耦合位移 柔性铰链 有限元分析 |
| 柔性铰链机构柔节疲劳寿命的设计及研究 期刊论文 光学技术, 2011, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 424-429 作者: 柳华; 刘伟奇; 撖芃芃; 冯睿; 魏忠伦; 张健 Adobe PDF(296Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:575/236  |  提交时间:2012/05/11 |
| 柔性双补偿杆式动镜支撑机构的设计 期刊论文 光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 6, 页码: 1313-1219 作者: 柳华; 刘伟奇; 冯睿; 魏忠伦; 张健 Adobe PDF(883Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:483/173  |  提交时间:2012/05/11 |