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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文 , 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019 作者: 张璐 caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:243/0  |  提交时间:2020/08/24 光刻物镜 光学检测 波像差 光栅横向剪切干涉仪 绝对检测 |
| Opto-mechanical structure design of visible light rough tracking and imaging lens 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2017, 卷号: 38, 期号: 5 作者: Wang, H.; S. Dai; L. Fan and Y. Zhao Adobe PDF(923Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:329/142  |  提交时间:2018/06/13 |
| 基于子孔径扫描的大口径光学系统波前检测技术研究 期刊论文 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6 作者: 张昊 收藏  |  浏览/下载:246/0  |  提交时间:2017/09/17 测量 哈特曼原理 波前重构 斜率检测 误差分析 |
| 微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 1 作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮; 王辉; 周烽 caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:337/119  |  提交时间:2017/09/17 成像系统 微缩投影系统 垂轴放大率测量 点衍射干涉仪 离焦 |
| Wavefront reconstruction based on discrete sampling of sub-aperture slope 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1 作者: He, X. and L. Yuan 浏览  |  Adobe PDF(1815Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:302/110  |  提交时间:2017/09/11 |
| Measurement of transversal magnification for reduced projection system 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 1 作者: Xie, Y.; L.-P. Wang; B.-Y. Guo; J. Wang; L. Miao; H. Wang and F. Zhou Adobe PDF(645Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:343/90  |  提交时间:2017/09/11 |
| Design of compliant micro-motion mechanism for linearity calibration of capacitive displacement sensors 期刊论文 Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2016, 卷号: 37, 期号: 6 作者: Zhang, D.; X. Li; C. Ge; M. Ni and K. Guo Adobe PDF(4471Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:326/84  |  提交时间:2017/09/11 |
| Integrated optomechanical analysis and experiments for influence of gravity on wavefront aberration of space camera 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 8 作者: Dong, D.-Y.; Z.-L. Li; D.-L. Xue; C.-Z. Chen and X.-J. Zhang Adobe PDF(651Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:321/120  |  提交时间:2017/09/11 |
| 光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 代晓珂 Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:257/2  |  提交时间:2015/05/03 光学检测 极紫外光刻 波面参考源 偏振控制 |
| 含自由曲面反射望远系统装调研究 学位论文 : 中国科学院大学, 2014 作者: 王钰 Adobe PDF(3417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/3  |  提交时间:2015/05/03 自由曲面 计算机辅助装调 矢量波像差理论 人工神经网络 |