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哈特曼探测器的高精度调节机构 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 10, 页码: 2852-2859
作者:  李文杰;  穆全全;  王少鑫;  王海萍;  杨程亮;  曹召良;  宣丽
caj(443Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/99  |  提交时间：2016/07/06
哈特曼探测器  调节机构  曲柄滑块机构  直线驱动器  自准直仪  
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:  赵阳;  王平;  史振广;  谷勇强;  刘春来;  门树东
caj(3398Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：283/107  |  提交时间：2016/07/06
几何光学  三叶像差  面形精修  条纹泽尼克多项式  
光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计 期刊论文
光电工程, 2015, 期号: 06, 页码: 50-56
作者:  陈华男;  郭抗;  张玲花;  刘健;  尚红波
caj(1453Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：305/83  |  提交时间：2016/07/06
光刻投影物镜  X-y向柔性调节机构  减速机构  柔性铰链  
高精度位移传感器线性度标定方法研究 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 期号: 05, 页码: 982-988
作者:  张德福;  葛川;  李显凌;  倪明阳;  郭抗;  李朋志
caj(686Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：363/96  |  提交时间：2016/07/06
传感器  标定  线性度  柔度矩阵  
光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 09, 页码: 35-39
作者:  张德福;  李显凌;  东立剑;  孙振
caj(2020Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：289/79  |  提交时间：2016/07/06
耦合误差  光刻  物镜  偏心调节机构  柔度矩阵法  
Compliance analysis for thinned right-circular flexure hinge with three degrees of freedom 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 页码: 425-431
作者:  Guo, K.;  M.-Y. Ni;  Z. Sun;  H.-N. Chen and D.-P. Wang
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Linearity calibration method of the high-precision displacement sensor 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument, 2015, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 982-988
作者:  Zhang, D.;  C. Ge;  X. Li;  M. Ni;  K. Guo and P. Li
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Mechanical error compensation algorithm for subaperture stitching interferometry 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 934-940
作者:  Zhang, M.;  Y.-X. Sui and H.-J. Yang
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