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极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 366-372
作者:  鹿国庆;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(416Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：532/164  |  提交时间：2014/03/07
光学器件  极紫外光刻  碳氢化合物污染模型  多层膜光学元件  二次电子  
基于人工神经网络方法的自由曲面光学系统装调 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 89-94
作者:  王钰;  张新;  王灵杰;  王超
caj(345Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：565/165  |  提交时间：2014/03/07
成像系统  计算机辅助装调  人工神经网络  自由曲面  
光学表面中频误差对光刻物镜短程杂散光影响分析 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 235-239
作者:  杨旺;  黄玮;  许伟才;  尚红波
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光学设计  杂散光  功率谱密度  公差分析  光刻物镜  
基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007
作者:  于新峰;  巩岩;  倪明阳;  秦硕
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投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式  
数控超光滑加工高次回转对称非球面镜 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 08, 页码: 253-259
作者:  刘健;  王绍治;  张玲花;  王君林
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光学制造  超光滑表面  磨头控制算法  非球面  
大气等离子体加工熔石英技术研究 期刊论文
陕西理工学院学报(自然科学版), 2013, 期号: 02, 页码: 1-5+11
作者:  王东方
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大气等离子体  去除率  熔石英  
光学表面的X射线异常散射现象 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 02, 页码: 253-259
作者:  孟艳丽;  李达;  陈波
caj(859Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：356/113  |  提交时间：2014/03/07
X射线异常散射  镜像反射  异常散射角  散射强度  临界角  表面粗糙度  
某空间遥感器调焦反射镜的设计与分析 期刊论文
光电工程, 2013, 期号: 01, 页码: 60-65
作者:  付亮亮;  何欣;  王忠善
caj(763Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：318/104  |  提交时间：2014/03/07
反射镜支撑  Sic  柔性铰链  工程分析