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极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：254/0  |  提交时间：2017/09/17
薄膜  极紫外光刻  宽带多层膜  Mo/si多层膜  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：361/131  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量  
折反射式大入瞳星敏感器光学系统设计 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 276-283
作者:  吕博;  刘伟奇;  张大亮;  姜珊;  康玉思;  冯睿
caj(655Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：413/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  折反射  星敏感器  遮光罩  杂光分析  
手持式拉曼光谱仪探头系统的杂光抑制新方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 1, 页码: 219-226
作者:  刘兵;  于凡菊;  孙强;  刘英;  安岩;  姜承志;  呼新荣
caj(317Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：468/178  |  提交时间：2015/04/17
光谱学  手持拉曼光谱仪  光学探头  弱信号探测  杂散光  黑点板  
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 期号: 11, 页码: 220-225
作者:  喻波;  李春;  金春水
caj(458Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：563/149  |  提交时间：2013/03/11
薄膜  Mo/si多层膜  扩散系数  掠入射x射线反射谱  四层模型  极紫外  
基于掠入射X射线反射镜的Mo/Si多层膜扩散系数测量 期刊论文
中国激光, 2011, 卷号: 38, 期号: 11
作者:  喻波;  李春;  金春水
Adobe PDF(568Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：464/131  |  提交时间：2012/05/11
超光滑光学基底表面原子力显微镜测试方法 期刊论文
中国激光, 2011
作者:  金春水;  邓文渊;  喻波
Adobe PDF(907Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：606/231  |  提交时间：2012/05/11