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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
caj(440Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：471/123  |  提交时间：2018/04/09
同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
caj(411Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/132  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜  
X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：276/109  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试  
应用光程校正空间法提升近红外无创生化分析模型性能 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 1974-1980
作者:  高洪智;  卢启鹏;  丁海泉;  陈思唯
caj(525Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/68  |  提交时间：2014/03/07
近红外光谱  无创生化分析  光程校正空间  净信号分析  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：476/135  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析  
连续多点成形中的成形载荷分析 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 06, 页码: 1288-1295
作者:  龚学鹏;  李明哲;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(909Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：415/69  |  提交时间：2013/03/11
柔性加工  连续成形  多点成形  数值分析  三维曲面  
自适应滤波在近红外无创生化分析中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 04, 页码: 873-879
作者:  卢启鹏;  陈丛;  彭忠琦
caj(522Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/86  |  提交时间：2013/03/11
自适应滤波  最小均方算法  脉搏波  近红外光谱  无创生化分析  
谱学显微光束线光斑水平漂移分析与检测 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 03, 页码: 514-519
作者:  马磊;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：497/108  |  提交时间：2013/03/11
变包含角平面光栅单色仪  谱学显微光束线  光斑水平漂移  误差分析  
基于多点调形原理的旋转曲面连续成形 期刊论文
光学精密工程, 2012, 期号: 01, 页码: 117-123
作者:  龚学鹏;  李明哲;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(828Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：421/109  |  提交时间：2013/03/11
柔性加工  连续成形  多点成形  数值分析  旋转曲面  
变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 1548-1553
作者:  卢启鹏;  马磊;  彭忠琦
caj(512Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：384/59  |  提交时间：2012/09/25