Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测 | |
卢启鹏 ; 马磊; 彭忠琦
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| 2010-07-01 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
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| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 18期号:7页码:1548-1553 |
| 摘要 | 针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法。采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试。首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤。利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测,结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求。在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10000,进一步验证了该检测方法的有效性。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23586 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢启鹏,马磊,彭忠琦. 变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测[J]. 光学精密工程,2010,18(7):1548-1553. |
| APA | 卢启鹏,马磊,&彭忠琦.(2010).变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测.光学精密工程,18(7),1548-1553. |
| MLA | 卢启鹏,et al."变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测".光学精密工程 18.7(2010):1548-1553. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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