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Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
Authors:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
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Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure  
微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 02, 页码: 255-264
Authors:  戴岑;  巩岩;  张昊;  李佃蒙;  薛金来
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共焦显微  微分干涉差  标量衍射  膜层结构  缺陷探测  
基于子孔径扫描的大口径光学系统波前检测技术研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
Authors:  张昊
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测量  哈特曼原理  波前重构  斜率检测  误差分析  
基于棱镜扫描法的太阳光谱仪光谱定标 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2016, 期号: 6, 页码: 1930-1935
Authors:  高震宇;  方伟;  王玉鹏;  张浩
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光谱响应函数  中心波长  光谱带宽  坐标映射  
扫描哈特曼波前检测技术的误差分析研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2016, 期号: 11, 页码: 174-183
Authors:  张昊;  闫锋;  魏海松;  陈新东;  程强
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测量  哈特曼原理  斜率检测  波前检测  误差分析  
一种液晶光开关的制备研究 期刊论文
科技通报, 2015, 期号: 11, 页码: 134-137
Authors:  李文萃;  张浩;  吕静贤;  舒新建;  赵永胜;  黄文彬
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光通信  液晶技术  光开关  光栅  
中/长波红外双衍射级次共路Offner成像光谱仪 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 965-974
Authors:  张浩;  方伟;  叶新;  姜明;  宋宝奇
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成像光谱仪  双衍射级次  共光路探测  双波段红外焦平面探测器(Ir Fpas)  
小型宽光谱太阳光谱仪光学设计 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 期号: 02, 页码: 590-595
Authors:  高震宇;  方伟;  张浩;  杨振岭;  王玉鹏
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太阳光谱仪  二向色分光镜  点扩散函数  光谱响应函数  
基于Fery棱镜分光的太阳光谱仪研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  张浩
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宽光谱棱镜型太阳光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 02, 页码: 178-186
Authors:  张浩;  方伟;  叶新;  张广伟
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光谱学  棱镜光谱仪  光学设计与仿真  太阳光谱辐照度