Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 | |
| 刘传珍; 杨柏梁; 张玉; 李牧菊; 吴渊; 廖燕平; 王大海; 邱法斌; 李轶华; 黄锡珉 | |
| 2000-12-30 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 期号 | 04页码:250-254 |
| 关键词 | 金属诱导晶化 多晶硅薄膜 退火 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30855 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘传珍,杨柏梁,张玉,等. 金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究[J]. 液晶与显示,2000(04):250-254. |
| APA | 刘传珍.,杨柏梁.,张玉.,李牧菊.,吴渊.,...&黄锡珉.(2000).金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究.液晶与显示(04),250-254. |
| MLA | 刘传珍,et al."金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究".液晶与显示 .04(2000):250-254. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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