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金属诱导法低温多晶硅薄膜的制备与研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 250-254
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  张玉;  李牧菊;  吴渊;  廖燕平;  王大海;  邱法斌;  李轶华;  黄锡珉
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金属诱导晶化  多晶硅薄膜  退火  
TFT阵列金属电极的制备与性能 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 04, 页码: 260-267
作者:  王大海;  杨柏梁;  吴渊;  刘传珍;  李牧菊;  李轶华;  张玉;  廖燕平
caj(111Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:423/69  |  提交时间:2013/03/11
磁控溅射  Tft器件  溅射速率  金属薄膜  
激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究 期刊论文
液晶与显示, 2000, 期号: 01, 页码: 46-52
作者:  刘传珍;  杨柏梁;  李牧菊;  吴渊;  张玉;  李轶华;  邱法斌;  黄锡珉
caj(319Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:402/72  |  提交时间:2013/03/11
P-si薄膜  激光退火  能量密度